Alineadora de Máscaras En un proceso común de fabricación de dispositivos o circuitos integrados, la generación de una plantilla guía que determine las geometrías y dimensiones del microdispositivo es un paso importante. En producciones a mediana y grande escala de dispositivos o circuitos integrados se emplean fotomáscaras, las cuales a través de procesos fotolitográficos generaran los patrones […]
Generador de Patrones En el vídeo se observa el proceso de fotolitografía desarrollado en el cuarto limpio de CIDESI Querétaro utilizado en la fabricación de sensores de temperatura. Dependiendo el dispositivo, el número de veces que se puede requerir un proceso de fotolitografía puede incrementarse, por ejemplo, un transistor de película delgada requiere de menos de diez […]
Depósito de Parylene C Durante los procesos de fabricación de dispositivos como sensores y circuitos integrados, los materiales como semiconductores, dieléctricos y metales se ven expuestos a diferentes procesos, en los que la integridad física de estos se puede ver alterada y por ende, no es conveniente. En el cuarto limpio de CIDESI Querétaro, contamos […]
E BEAM EVAPORACIÓN POR E BEAM, UN VISTAZO Durante el proceso de evaporación por haz de electrones “e-beam”, una corriente pasa a través de un filamento de tungsteno, el cual por efecto Joule y calentamiento promueve la emisión de electrones. Entonces, un alto voltaje es aplicado entre el filamento y el material el cual es […]
Magnetron Sputtering System Una de las herramientas en el cuarto limpio de CIDESI Querétaro es un sistema de Magnetron Sputtering, de la marca Angstrom Engineering, este sistema es utilizado para proyectos de investigación y de fabricación de sensores y circuitos integrados, ver Figura 1. Es importante conocer que la técnica conocida como “sputtering” o erosión […]
RF Sputtering y DC Sputtering El desarrollo de procesos de fabricación de dispositivos como sensores y circuitos integrados (ASICs) y materiales como son semiconductores, dieléctricos y metales con características físicas específicas, es bastante requerido y de suma importancia en todos los proyectos que atendemos en la Dirección de Microtecnologías (DMT) de CIDESI Querétaro. Proceso de […]
Evaporación por E-Beam y Evaporación Térmica por Resistencia Proceso de depósito de materiales por e-beam Evaporación por e-beam, una visión general. Durante el proceso de evaporación por haz de electrones “e-beam”, una corriente pasa a través de un filamento de tungsteno, que por efecto de calentamiento Joule se obtiene una emisión de electrones. Posteriormente, el equipo […]