Wafer Bonder
El perfilómetro KLA Tencor P-7 mide el perfil vertical de los patrones desarrollados o atacados arrastrando ligeramente una punta filosa a través de la superficie y detectando su movimiento vertical. Esto permite a los usuarios determinar el espesor de la resistencia, profundidad del ataque y tamaños de paso generales.
Punta del perfilómetro KLA Tencor